儀器儀表的保養步驟有：
一、儀器儀表外表擦拭步驟：
1.先用幹細棉布或擦拭紙擦拭儀器外表，以擦拭其灰塵或油汙等，小心注意其儀器外表勿受傷。
2.再用幹淨細幹棉布沾上工業用酒精，擦拭儀器外表，尤其金屬及非金屬表麵。
二、儀器儀表鏡麵擦拭步驟：
1.先用拭鏡紙輕輕擦拭鏡麵表麵，勿用力以免傷及鏡麵。
2.再用棉花棒沾工業用酒精，輕輕擦拭鏡麵表麵，並需等酒精揮發後，再裝回去。
3.鏡麵擦拭可區分成校正玻璃片及鏡頭內透鏡組，由於灰塵粒子會造成成像的黑點，鏡麵擦拭至為重要，裝置後需重新借著影像觀察擦拭結果。
三、儀器儀表花崗岩表麵擦拭步驟：氮氣發生器
1.先用幹細棉布或擦拭紙擦拭花崗岩表麵，以擦拭其灰塵或測量後機件遺留的油汙等。
2.再用幹淨細幹棉布沾上工業用酒精，擦拭花崗岩外表麵，酒精具揮發性會自然蒸發。
3.必要時，可使用花崗岩專用保養油再擦拭。
四、儀器傳動部分：分幹磨擦部分及潤滑部分，幹磨擦部分又有氣浮軸承及無牙絲杆傳動機構之區分。
幹磨擦部分保養步驟：
1.先用幹細棉布或擦拭紙擦拭磨擦表麵，以擦拭其灰塵或油汙等。
2.也可使用吹氣壺，將灰塵吹掉。
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